[19a-Z02-1~8] 1.5 計測技術・計測標準

[19a-Z02-5] アルゴン中微量水分標準の不確かさ低減に関する研究

〇天野 みなみ¹、阿部 恒¹ (1.産総研)

キーワード：微量水分、湿度、半導体

多種ガス用微量水分発生装置を用いて、半導体材料ガスを対象としたガス中微量水分の一次標準を開発してきた。過去に開発したアルゴン中微量水分標準(10 ppb〜1 ppm)は、相対拡張不確かさが11 %〜8.3 %となっていたが、本研究ではこれを2.7 %〜1.5 %に低減した。