[19a-Z27-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19a-Z27-8] Face-to-faceアニール処理されたスパッタ成膜AlNテンプレート上AlGaN系多重量子井戸構造の内部量子効率

藤井 厚志¹、押村 遼太¹、草場 崇史¹、倉井 聡¹、〇室谷 英彰²、上杉 謙次郎³、三宅 秀人⁴、山田 陽一¹ (1.山口大院・創成科学、2.徳山高専、3.三重大・地域創生戦略企画室、4.三重大院・地域イノベ)

キーワード：AlGaN多重量子井戸、内部量子効率、Face-to-Faceアニール法