[19a-Z33-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19a-Z33-5] β-Ga₂O₃の脆弱な(010)表面

〇山口 博隆¹、渡辺 信也²、山岡 優²、輿 公祥²、倉又 朗人² (1.産総研、2.ノベルクリスタル)

キーワード：Ga2O3、劈開、ビッカース硬度

β-Ga₂O₃の(010)面基板は他の面基板より加工変質層が深く、弾性的に脆弱であることが示されている。本研究では、ビッカース硬度の面方位依存性からその脆弱性を考察する。(010)面では、とくに(100)面、(001)面の劈開が顕著であり、ビッカース硬度が低下していることがわかった。