[19p-Z07-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[19p-Z07-5] ローダミン水溶液中でのレーザー加工によるクラックの少ないミニチュアねじの作製

世古 匠¹、〇松尾 繁樹¹ (1.芝浦工大)

キーワード：ミニチュアねじ、ガラス、レーザー誘起背面湿式加工法

われわれは，サブナノ秒レーザーパルスを水─ガラス界面に集光照射することによるガラス基板へのS0.5ミニチュアめねじの作製を報告してきた。しかし，この加工では，ガラスにクラックが発生し，期待したほどの強度が得られないという問題があった。本研究では，クラックの減少を狙い，水に代えてローダミン水溶液を用いる加工を試みた。その結果，濃度0.75 mol/L以上でクラックが減少し，強度も向上した。