[19p-Z22-1~16] 3.13 半導体光デバイス

[19p-Z22-11] 低電圧動作量子井戸マイクロリング共振器装荷型マッハ・ツェンダー光変調器の設計と作製

〇鶴田 靖昭¹、大塚 哲志¹、國分 泰雄²、荒川 太郎¹ (1.横浜国大院、2.中部大)

キーワード：マッハ・ツェンダー型変調器、マイクロリング共振器、量子井戸

光通信ネットワークを支えるキーデバイスの一つである光変調器の高速化・低動作電圧化のため， InGaAs/InAlAs 五層非対称結合量子井戸（FACQW）をコア層に採用し微小リング共振器を装荷したマッハ・ツェンダー光変調器（MRR-MZM）を提案，開発し，低電圧動作を実証してきた．
今回，さらに動作電圧を低減するため，InGaAs/InAlAs FACQWコア層の構造を最適化した片側MRR装荷MZM（SMRR-MZM）の設計を行い，また作製と動作実証を目指したので報告する．