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[19p-Z34-13] 周波数変調型加速度センサを用いたMEMSリザバーコンピューティング
キーワード:リザバーコンピューティング
非線形振動子を有する加速度センサを用いたRCに注目し、振動子に対して従来の振幅変調型の入力に代わりに、剛性変化型の入力を試みた。デバイスはSOIを用いた厚み20µmの単結晶シリコン構造で作製されている。システムは遅延フィードバックを有している。数値シミュレーションにより『強制振動によるうなり周期を離散化された重み関数の時間間隔で除した値』に最適値が存在することを見出した。