09:30 〜 09:45 [20a-C200-3] 2インチScAlMgO4基板上へのGaNのMOVPE成長と反り評価 〇福井 崇人1、坂口 太郎1、松田 祥伸1、松倉 誠2、小島 孝広2、船戸 充1、川上 養一1 (1.京大院工、2.オキサイド)