09:15 〜 09:30 △ [22a-C101-1] InGaN円偏光素子の実現に向けたSi3N4メタサーフェスの設計と作製 〇村田 雄生1、戸田 晋太郎3,1、藤原 康文1、中川 貴1、市川 修平1,2 (1.阪大院工、2.阪大電顕センター、3.アルバック協働研)