14:45 〜 15:00 [22p-B204-6] Mgイオン注入GaNの正孔濃度の活性化アニール温度依存性 〇大森 雅登1、渡邉 健太2、坪井 辰哉1、日高 昭日1、大川 峰司2 (1.大分大、2.ミライズ)