14:30 〜 14:45 [20p-B201-5] 極薄GaN/AlN超格子構造の作製におけるGaN層の膜厚依存性 〇杢谷 直哉1、和田 邑一1、毛利 真一郎1、出浦 桃子2、正直 花奈子3、三宅 秀人3、荒木 努1 (1.立命館大理工、2.R-GIRO、3.三重大院工)