09:00 〜 09:15 [21a-A105-1] 高Sbビーム等価圧力によるAlInSb薄膜結晶の高品質化の検討 〇町田 龍人1、赤羽 浩一1、渡邊 一世1、原 紳介1、笠松 章史1 (1.情報通信研究機構)