17:30 〜 17:45 [20p-B203-17] β-Ga2O3 HVPE成長におけるエッチングガス添加効果 〇(M2)長野 理紗1、江間 研太郎2、佐々木 公平2、倉又 朗人2、村上 尚1 (1.東京農工大院工、2.(株)ノベルクリスタルテクノロジー)