09:45 〜 10:00 [20a-C302-4] 金属ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング法によるAg-Fe2O3系黒色絶縁膜の作製 〇田中 聖1、石井 暁大1、山口 実奈1、及川 格1、山崎 雄亮2、伊村 正明2、高村 仁1 (1.東北大院工、2.日本電気硝子)