16:00 〜 16:15 [22p-C202-12] RFマグネトロンスパッタリング法によって作製したMnドープITO多結晶膜の物性に及ぼす基板温度の影響 〇川村 亮人1、北川 彩貴1、武久 進太郎1、中村 敏浩1,2 (1.京大院人環、2.京大国際高等教育院)