16:30 〜 16:45 [20p-C206-8] 直径2インチScAlMgO4単結晶ウェハのエッチング評価 〇白石 裕児1、南都 十輝1、安藤 宏孝1、福田 承生1、藤井 高志2,1、石地 耕太朗3 (1.㈱福田結晶研、2.立命館大、3.九州シンクロトロン光研究センター)