16:00 〜 18:00 [20p-P04-13] 基底状態原子支援化学気相堆積法によるシリコン酸化膜の形成及び評価 〇尾内 亮太1、山形 翔1、古川 雅一2、若原 昭浩1、岡田 浩1 (1.豊橋技科大、2.アリエースリサーチ(有))