13:45 〜 14:00 [22p-A202-4] マグネトロンスパッタ法により作製した炭化ホウ素膜特性に及ぼす水素の効果 〇西田 竜也1、谷口 颯1、佐藤 聖能1、小林 康之1、遠田 義晴1、鈴木鈴木 裕史1、吹留 博一2、中澤 日出樹1 (1.弘前大、2.東北大)