15:15 〜 15:30 △ [22p-C202-9] 複合成膜手法により作成されたTiO2薄膜におけるスパッタリングの影響 〇(M1)遠藤 孝祐1、室谷 裕志1、松平 学幸2 (1.東海大院工、2.(株)シンクロン)