16:00 〜 18:00 [20p-P04-17] バックゲート電圧印加によるGaNエピ基板中の欠陥抽出 〇西田 きさら1、星井 拓也1、若林 整1、筒井 一生2、角嶋 邦之1 (1.東工大工学院、2.東工大科学技術創成研究院)