[20a-A406-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[20a-A406-8] ガラス基板上のhigh-k 4端子poly-Si TFTから形成されたCMOSインバータ

〇永吉 輝央¹、野村 海成¹、原 明人¹ (1.東北学院大工)

キーワード：半導体、シリコン、CMOS