2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[20a-B103-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

2022年9月20日(火) 09:00 〜 12:15 B103 (B103)

山田 智明(名大)、内田 寛(上智大)

09:15 〜 09:30

[20a-B103-2] 水溶性犠牲層を用いたSrTiO3 (001)基板上エピタキシャルPb(Zr,Ti)O3膜の剥離

〇(M1C)高橋 和大1、吉野 正人1、長﨑 正雅1、安井 伸太郎2、安原 颯2、山田 智明1 (1.名大工、2.東工大)

キーワード:強誘電体、圧電体、薄膜