[20a-B103-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

[20a-B103-4] エピタキシャル菱面体晶Pb(Zr, Ti)O₃薄膜における電気光学効果の組成依存性

〇近藤 真矢¹、宇都宮 達基¹、寺西 貴志^1,2、藤井 達生¹、山田 智明³、岸本 昭¹ (1.岡大院、2.東工大、3.名大工)

キーワード：電気光学効果、強誘電体薄膜、化学溶液法

本研究では、化学溶液法を用いて異なる組成で菱面体晶Pb(Zr, Ti)O₃ (PZT) 薄膜を作製し、{111}/{11-1}配向のエピタキシャルPZT薄膜の作製に成功した。作製したPZT薄膜は組成に依らず良好な強誘電性を示したが、組成によってドメインスイッチングによって増強される電気光学 (EO) 係数の変化量や最大のEO係数を示す電界値が変化することがわかった。すなわち、組成によってドメイン分率の変化量やドメイン間の実効的な屈折率差が変化することから、適切なドメイン構造制御がEO特性の向上に重要であることが示唆された。