[20a-B204-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [20a-B204-7] 酸化物半導体薄膜を用いた室温近傍での水素ガスセンシング(２)；
SnO2薄膜のスパッタ成膜条件とガス検知特性

〇大舘 啓太¹、柏木 誠¹、小口 有希¹、中村 明²、山本 晴香³、重里 有三¹ (1.青学大 理工、2.ミネベアミツミ、3.日本電子)

キーワード：ガスセンサー、スパッタ薄膜

スパッタ法を用いて作製した半導体式ガスセンサーは、低濃度ガスに対する感度が高く、小型・軽量化が可能であるためオンチップの形成が可能である。そのため、低コストかつ消費電力が少ないセンサーとして水素利用技術に貢献できると考えられる。様々な膜厚のSnO₂薄膜を成膜し、微量の水素を含有した雰囲気下でのin-situホール効果測定を行い、膜厚変化に伴う構造・電気特性の変化とガス感度の相関に関して調査した。