[20a-B204-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [20a-B204-9] 酸化鉄光電極のミストCVD成長とその評価

〇(DC)島添 和樹¹、西中 浩之¹、谷口 陽子¹、鐘ケ江 一考¹、吉本 昌広¹ (1.京都工繊大電子)

キーワード：酸化鉄、ITO、ミストCVD

人工光合成向け光電極材料として広く研究されている酸化鉄(α-Fe₂O₃)は面方位によってその特性に異方性があることが報告されている。異方性の評価方法の１つとしてエピタキシャル薄膜を用いた方法があり、本研究では新たな下地電極としてα-Fe₂O₃と同じ構造の酸化インジウム錫(rh-ITO)を提案する。c、a、m、r面配向したrh-ITO及びα-Fe₂O₃をエピタキシャル成長させその評価を行った。