[20a-C101-1~13] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20a-C101-13] ナノインプリントと銀インクを用いた2種類のパターン転写

〇(M1)榎本 圭祐¹、谷口 淳¹ (1.東理大先工)

キーワード：ナノインプリント、ツートーン、銀インク

金属の真空蒸着は時間がかかるという欠点がある。そこで大気圧下で金属膜を成膜する技術が求められている。そこで銀インクを用いてツートーン転写を行うことを試みた。ツートーンにするには、金属膜をモールド上面とホール底部の金属部分とを分離させる必要があるが、銀インクの場合は、ホールを全部埋めてしまう場合が多く、分離が難しいという問題がある。そこで本研究では上面とホール底部の銀インクを分離する方法を考案した。