[20a-C202-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-C202-6] ScAlMgO₄断面ウェハーの欠陥構造のX線トポグラフィー観察

〇石地 耕太朗¹、藤井 高志^2,3、荒木 努²、白石 裕児³、福田 承生³ (1.九州シンクロ、2.立命館大、3.福田結晶研)

キーワード：X線トポグラフィー、結晶材料、欠陥構造

ScAlMgO₄(SAM)結晶のユニークな欠陥構造を理解するため、成長初期から後期を含むSAM断面ウェハーの欠陥構造を放射光X線トポグラフィーで観察した。成長初期では熱歪みが大きく、高密度でストレート型転位が発生した。一方、低密度のストリーム型転位は成長後期にのみ見られた。成長後期では熱歪みが小さくなったと考えられる。転位の生成は結晶成長における固液界面での熱歪みと深く関係することが分かった。