[20a-C202-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-C202-7] 垂直ブリッジマン成長時におけるAl₂O₃の転位密度解析

〇柿本 浩一¹、高橋 勲²、富田 健稔²、中野 智³、吉川 彰⁴ (1.東北大NICHe、2.(株)C＆A、3.九大応力研、4.東北大金研)

キーワード：サファイア、シミュレーション、転位

Al₂O₃結晶中の転位は、ウエハーのそりの制御の観点から制御する必要がある。本報告では、垂直ブリッジマン(VB)法を用いて、Al₂O₃成長結晶中の転位密度分布を３次元非定常解析法により求めた。種結晶の方位は、c-, m-, a-, [001]の３種類に設定した。