[20a-C202-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-C202-8] 垂直ブリッジマン成長時におけるβ型酸化ガリウムの転位密度解析

〇柿本 浩一¹、高橋 勲²、富田 健稔²、鎌田 圭²、姚 永昭³、中野 智⁴、吉川 彰⁵ (1.東北大NICHe、2.(株)C＆A、3.ファインセラミックスセンター、4.九大応力研、5.東北大金研)

キーワード：酸化ガリウム、シミュレーション、転位

β-Ga2O3結晶中の転位は、デバイス作成や特性の劣化の観点から制御する必要がある。本報告では、垂直ブリッジマン(VB)法を用いて、成長結晶中の転位密度分布を３次元非定常解析法により求めた。種結晶の方位は、[010], [-201], [-204], [001]の４種類に設定した。