[20a-C302-1~9] 6.4 Thin films and New materials

[20a-C302-4] Ag-Fe₂O₃-Based Black Insulative Coatings Deposited by Magnetron Sputtering Using Metal Targets

〇Satoru Tanaka¹, Akihiro Ishii¹, Mina Yamaguchi¹, Itaru Oikawa¹, Yusuke Yamazaki², Masaaki Imura², Hitoshi Takamura¹ (1.Tohoku Univ., 2.Nippon Electric Glass Co., Ltd.)

Keywords:optical coatings, black insulators, nano-cermet materials

金属ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング法でAg–Fe₂O₃系黒色絶縁膜を作製した。3.4%および3.9%O₂で非晶質Fe₂O₃中に金属Agが分散した薄膜となった。特に3.9%O₂で、Ag粒子が明瞭に析出して明瞭なプラズモン吸収を示し、黒色性と絶縁性が高レベルで両立した。このAgの析出は、酸素がAg格子中に非平衡的に固溶し、Agの融点が低下したためと、DFT計算より示唆された。