[20a-C302-1~9] 6.4 薄膜新材料

[20a-C302-4] 金属ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング法によるAg-Fe₂O₃系黒色絶縁膜の作製

〇田中 聖¹、石井 暁大¹、山口 実奈¹、及川 格¹、山崎 雄亮²、伊村 正明²、高村 仁¹ (1.東北大院工、2.日本電気硝子)

キーワード：光学薄膜、黒色絶縁体、ナノサーメット材料

金属ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング法でAg–Fe₂O₃系黒色絶縁膜を作製した。3.4%および3.9%O₂で非晶質Fe₂O₃中に金属Agが分散した薄膜となった。特に3.9%O₂で、Ag粒子が明瞭に析出して明瞭なプラズモン吸収を示し、黒色性と絶縁性が高レベルで両立した。このAgの析出は、酸素がAg格子中に非平衡的に固溶し、Agの融点が低下したためと、DFT計算より示唆された。