[20p-A102-1~10] 2.1 検出器デバイス開発

△ [20p-A102-8] ヘテロエピタキシャルダイヤモンド放射線検出器の作製

〇(M1)入江 優雅¹、人見 啓太朗²、野上 光博²、中山 隼¹、金 聖祐³、小山 浩司³、サハ ニロイチャンドラ¹、嘉数 誠¹ (1.佐賀大院工、2.東北大院工、3.アダマンド並木精密宝石(株))

キーワード：放射線検出器、ヘテロエピタキシャルダイヤモンド、ダイヤモンド半導体

ダイヤモンドは耐放射線性に優れ、高温動作が可能である。これまで天然ダイヤやCVDホモエピダイヤで放射線検出器が報告されているが、本研究では2インチ径まで大口径化可能なヘテロエピタキシャルダイヤモンドを用いて放射線検出器の作製を行ったので報告する。