[20p-B103-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

△ [20p-B103-16] (10-12)LiNbO₃スパッタエピ薄膜のGHz帯擬似横波励振特性

〇工藤 慎也^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3,4 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST、4.JST-FOREST)

キーワード：ニオブ酸リチウム、圧電薄膜、横波

LiNbO₃（LN）は、Q値とk値が高い為、SAWフィルタに使用されているが、c軸配向LNのk_t²値は、c軸傾斜配向LNのk₃₅²値と比較して大幅に低い為、BAWフィルタとして使用されていない。一方、Smartcutなどを用いれば、任意の結晶方位の薄片を得ることができるが、LN単結晶ウエハは6インチが限界である為、配向制御が達成できれば、スパッタLN薄膜の優位性は高い。本研究では、AZO/(102)Al₂O₃上の(102)LNのエピ成長、LN共振子の擬似すべりモード励振特性を報告する。