[20p-B104-1~20] 12.4 有機EL・トランジスタ

[20p-B104-16] 反転オフセット印刷を用いた短チャネルトップコンタクト型OTFT

〇(M1)鈴木 岳斗¹、堀米 駿介²、吉岡 俊樹¹、関根 智仁^1,2,3、竹田 泰典³、熊木 大介³、時任 静士^1,2,3 (1.山形大院有機、2.山形大工、3.山形大ROEL)

キーワード：有機薄膜トランジスタ、反転オフセット印刷

反転オフセット印刷法はμmオーダーの微細印刷が可能であり、短チャネルOTFTを集積化できる手法として期待されている。加えて、印刷時に金属インクが半乾燥状態で転写される特徴を利用することで、有機半導体層に対する電極材料の溶剤によるダメージを低減し、コンタクト抵抗低減に有利なトップコンタクト(TC)型構造が実現できると考えた。本研究では反転オフセット印刷を用いた短チャネルTC型OTFTの作製を検討したので報告する。