[20p-B104-1~20] 12.4 有機EL・トランジスタ

[20p-B104-18] トナー型プリンテッドエレクトロニクスに向けた金属粒子配線パターンの低温焼結

唐澤 幸一¹、澤村 史也¹、ウ チェンイ¹、花崎 来希¹、〇酒井 正俊¹、工藤 一浩¹ (1.千葉大院工)

キーワード：プリンテッドエレクトロニクス、金属ナノ粒子、有機半導体

我々が提案するトナー型プリンテッドエレクトロニクスでは、有機/酸化物半導体、絶縁体、金属を含めた様々なエレクトロニクス材料に関して高精細パターニングが可能になってきた。次の工程として、描画されたパターンの定着/焼結が必要である。エレクトロニクス材料は融点などが大幅に異なるため、材料ごとに定着/焼結法を検討する必要がある。本発表では金属トナーの加圧および超音波焼結による定着について結果を報告する。