[20p-B201-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20p-B201-10] m面サファイア基板上スパッタアニールAlNの面方位制御

〇上杉 謙次郎^1,2、張 芸賢³、正直 花奈子³、肖 世玉³、三宅 秀人³ (1.三重大共創機構、2.三重大院地域イノベ、3.三重大院工)

キーワード：AlN、スパッタ、アニール