[20p-B201-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20p-B201-13] AlNの極性制御と両極性AlNの結晶成長

〇谷川 俊介¹、迫山 卓哉¹、倉井 聡¹、岡田 成仁¹、中野 貴之^2,3、山田 陽一¹ (1.山口大院・創成科学、2.静岡大工、3.静大電研)

キーワード：AlN、極性