[20p-B201-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20p-B201-6] RF-MBE成長DERI法におけるInNの初期成長機構

〇山田 泰弘¹、中村 亮佑¹、後藤 直樹¹、毛利 真一郎¹、出浦 桃子²、荒木 努¹ (1.立命館大理工、2.R-GIRO)

キーワード：透過電子顕微鏡、窒化インジウム、DERI法

InNのMBE成長ではV/III比制御が重要であり、Inリッチ条件ではInドロップレットの発生が、窒素リッチ条件では3次元成長による表面荒れが生じる。そこで我々は、高品質InNを再現性よく成長する手法としてDERI法を提案している。しかしDERI法の詳細な成長機構は解明されていない。そこで今回はDERI法のMRGPに着目し、TEMなどの評価装置を用い、InNの初期成長機構を調べた。