[20p-B201-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20p-B201-9] スパッタアニール法作製a面AlNにおける結晶性のスパッタ温度依存性

〇(M1)小川 優輝¹、渋谷 康太¹、上杉 謙次郎^2,3、肖 世玉¹、正直 花奈子¹、三宅 秀人¹ (1.三重大 院工、2.共創機構、3.院地域イノベ)

キーワード：スパッタ、a面AlN、r面サファイア基板