[20p-C105-1~15] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[20p-C105-10] 酸化バナジウムナノワイヤネットワーク薄膜を用いた温度センサの開発

〇(M1)江崎 遼太¹、本田 智子¹、福井 暁人¹、竹井 邦晴¹ (1.大阪公大工)

キーワード：フレキシブルデバイス、温度センサ、ナノワイヤ

フレキシブルセンサは柔軟な特性から、物体表面に貼付することで様々な情報取得ができると期待されているデバイス構造である。しかし現状、大面積プロセスにおいて安定性と感度を両立したセンサの実現には課題が残っている。本研究ではV₂O₅ナノワイヤ(NW)を溶液プロセスにて形成したネットワーク薄膜による温度センサを提案し、その温度依存性と安定性について報告する。