[20p-C302-1~12] 6.4 薄膜新材料

[20p-C302-12] イオン液体アシスト法における成膜中イオン液体蒸発を利用した
LiBH₄膜の膜質制御

〇戸澤 拓海¹、丸山 伸伍²、松本 祐司²、大口 裕之¹ (1.芝浦工大工、2.東北大院工)

キーワード：イオン液体

我々の研究グループでは、LiBH₄を薄膜型Li電池などの固体電解質膜として応用することを目指している。赤外レーザー蒸着法を用いた気相成長により、世界で初のLiBH₄エピタキシャル膜合成に成功している。また昨年度、イオン液体(IL)アシスト成膜法を用いた真空中での液相成長によりLiBH₄膜の結晶性を大幅に向上させている。この研究では、成膜時にILが蒸発するタイミングによって膜の見た目が顕著に変化する様子が観察されており、IL蒸発を積極的に利用することで膜質を制御できる可能性が示唆されていた。そこで本研究では、基板加熱の温度と時間を変えてIL蒸発挙動を調整して、LiBH₄膜の配向性と平坦性を制御することを目指した。