[20p-P05-1~3] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[20p-P05-1] 800℃で堆積させた3C-SiC成長モードのMMS圧力依存性

〇(M2)宮本 耀¹、津原 大輝¹、齊藤 敦¹、成田 克¹ (1.山形大院理工)

キーワード：立方晶炭化ケイ素