2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス(旧3.15)

[21a-A205-1~10] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス(旧3.15)

2022年9月21日(水) 09:00 〜 11:45 A205 (A205)

清水 大雅(農工大)、近藤 圭祐(宇都宮大)

09:45 〜 10:00

[21a-A205-4] ナノピクセル構造を集積したハイメサ導波路の形成

嶋村 雄太1、桒畑 亮太1、山内 健生1、田部井 哲夫2、姜 海松1、浜本 貴一1 (1.九州大総合理工、2.広島大ナノデバイス研)

キーワード:ハイメサ導波路、ドライエッチング

日常的な健康モニタリングシステムとして、小型呼気センシングシステムを実現する光集積回路を研究開発している。ナノピクセル構造を用いた非対称分岐とセンシング導波路としてSi/SiO2ハイメサ導波路の集積を検討している。導波路形成のためにエッチング条件の検討を行い、ナノピクセル構造と集積したハイメサ導波路の形成を行ったのでこれを報告する。