[21a-A306-1~9] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[21a-A306-2] フェムト秒レーザーアブレーション加工におけるスペクトル干渉を用いたパルス毎断面計測

〇浅井 岳¹、熊谷 洸毅²、玉置 亮^2,3、久保 肇¹、秦 大樹¹、瀧川 雄一¹、片山 郁文² (1.ニコン、2.横浜国大、3.KISTEC)

キーワード：レーザーアブレーション、干渉計測

フェムト秒レーザーアブレーション加工時のパルス毎の加工深さ変化を評価するために，一括で断面形状が取得可能なラインフィールドスペクトル干渉計測システムを構築し評価した．その結果，計測精度約10nm，計測レンジ約100μmの良好な深さ計測性能が得られ，実際のアブレーション加工痕の形状計測に成功している．