[21a-B203-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21a-B203-11] ミストCVD法により作製された酸化亜鉛薄膜のQCMセンサ応用

〇木村 匠¹、北村 俊喜¹、仲林 裕司²、山田 悟¹ (1.石川高専、2.北陸先端大)

キーワード：ミストCVD、QCMセンサ、酸化亜鉛