[21a-C106-1~10] 12.1 作製・構造制御

[21a-C106-10] 可溶性ポリマーと有機半導体のブレンド膜の相分離と濡れ性を利用したS-DNTT-10 FETの高速作製法と高性能化に関する研究

〇陳 博駿¹、伊東 栄次¹ (1.信州大工)

キーワード：有機 FET、メニスカスコート、パターニング

スパッタ製膜した Hf を陽極酸化しその上に可溶性ポリマーと有機半導体膜S-DNTT-10をメニスカスコート法により高速製膜して相分離現象によりHfO2/PS の2層誘電体と有機半導体の積層膜とした有機トランジスタを作製した。高分子絶縁層の不溶化処理を不要とすることにより低温プロセスと大幅な作製時間の低減を可能とした。また,撥水性の自己組織化単分子膜をVUV 光で濡れ性制御することでレジストフリーの短時間パターン形成を行った。