09:30 〜 11:30
[21a-P01-16] PIG-PECVD法で作製したa-C:H膜による赤外帯域除去フィルター設計
キーワード：PIGプラズマ支援CVD法、水素化アモルファスカーボン、光学薄膜
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
[21a-P01-1~16] 6.2 カーボン系薄膜
2022年9月21日(水) 09:30 〜 11:30 P01 (体育館)
一般セッション(ポスター講演)
6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
2022年9月21日(水) 09:30 〜 11:30 P01 (体育館)
09:30 〜 11:30
キーワード：PIGプラズマ支援CVD法、水素化アモルファスカーボン、光学薄膜