[21p-A205-1~21] 3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス（旧3.15）

[21p-A205-18] 異種材料集積光回路に向けた大気圧プラズマによる半導体親水化の検討

〇日原 弘喜¹、Moataz Eissa¹、山口 圭太¹、小野寺 広夢¹、大磯 義孝¹、雨宮 智宏^1,2、沖野 晃俊^1,2、西山 伸彦^1,2,3 (1.東工大工、2.東工大科学技術創成研、3.技術研究組合光電子融合基盤技研)

キーワード：異種材料集積光回路、大気圧プラズマ、親水化