[21p-A205-1~21] 3.14 Silicon photonics and integrated photonics (formerly 3.15)

[21p-A205-21] Si photonics all-optic control device without electronics (III)

〇Liucun Li¹, Takemasa Tamanuki¹, Toshihiko Baba¹ (1.Yokohama Nat'l Univ.)

Keywords:Silicon Photonics, All-Optic Control, Optical Switch

Siフォトニクスでは光制御のために熱光学効果が多用されるが，電気配線が導入しづらい状況や爆発物がある環境では，電気を一切使わない全光制御が求められることもあると考えられる．我々は前回，光で光を制御するCMOSプロセスで製作可能な「光ヒータ」を提案した．また製作した素子において，光制御の加熱効率は電気ヒータに匹敵する可能性を示した．今回は，その素子を用いて，スイッチング動作の時間応答が電気ヒータと同程度であることも確認した．