[21p-A306-1~16] 11.4 アナログ応用および関連技術

[21p-A306-6] 超伝導ホットエレクトロンボロメータによる中赤外光子検出器

〇川上 彰¹、島影 尚²、堀川 隼世³、齋藤 伸吾¹、田中 秀吉¹ (1.情通機構、2.茨城大院、3.福井高専)

キーワード：HEB、中赤外、光子

中赤外光領域における光検出器の応答特性・機能向上を目指し，光-検出器結合方式にアンテナを用いた中赤外超伝導ホットエレクトロンボロメータ (MIR-HEB)を検討している．今回，シャント抵抗を並列に付加したMIR-HEBを作製，中赤外光子検出器としての特性評価を実施した．MIR-HEBからの電圧パルスレートは、バイアス電流の増加とともに増大した。しかし臨界電流付近で飽和する傾向を示した．この電圧パルスレートは入射電力に対してほぼ比例した．以上の結果から作製したMIR-HEBは，波長4.57 μmの中赤外光において、光子数に対応した応答を示していると考えている．