[21p-C105-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[21p-C105-7] 転写技術による異種面方位Ge (111)/Ge (100) CFET

〇張 文馨¹、余 心仁^2,3、吳 文發²、李 耀仁²、王 永和³、前田 辰郎¹ (1.産総研、2.台湾半導体研、3.台湾成功大)

キーワード：CFET、転写技術、Ge